установка рентгеновской литографии с последовательным шаговым экспонированием

rentgeninis žingsninis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. X-ray step and repeat printer; X-ray stepper vok. Röntgenstepper, m rus. установка рентгеновской литографии с последовательным шаговым экспонированием, f pranc. installation de lithographie aux rayons X avec exposition pas à pas, f